911sss 中芯海外苦求光刻机焦距监控干系专利，竣事在线焦距监控且对产物晶圆图形影响小|标的|掩膜

金融界2024年10月28日音信911sss，国度学问产权局信息自满，中芯海外集成电路制造(上海)有限公司苦求一项名为“光刻机焦距监控轮番、焦距监控掩膜版偏激酿成轮番”的专利，公开号 CN 118818885 A ，苦求日历为 2023 年 4 月。

专利选录自满，一种光刻机焦距监控轮番、焦距监控掩膜版偏激酿成轮番，其中焦距监控掩膜版结构包括：透光的基板，基板包括芯片区和多少监控区，基板具有基准名义；位于基板上的遮光结构，各监控区上具有至少一组监控绚丽组，各监控绚丽组包括多少位于相邻遮光结构之间的绚丽凹槽，多少绚丽凹槽沿第一标的排布，绚丽凹槽底部暴透露基板名义，讨论监控绚丽组中不同绚丽凹槽在第一方朝上的尺寸讨论，讨论监控绚丽组中相邻绚丽凹槽之间的间距讨论，讨论监控绚丽组中不同绚丽凹槽的深度不同，绚丽凹槽的深度为在垂直于基板名义的方朝上绚丽凹槽底部名义相对基准名义的尺寸，竣事在线焦距的监控，且对产物晶圆的图形影响较小。

本文源自：金融界

作家：谍报员911sss

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