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金融界2024年10月28日音信911sss，国度学问产权局信息自满，中芯海外集成电路制造(上海)有限公司苦求一项名为“光刻机焦距监控轮番、焦距监控掩膜版偏激酿成轮番”的专利，公开号 CN 118818885 A ，苦求日历为 2023 年 4 月。 专利选录自满，一种光刻机焦距监控轮番、焦距监控掩膜版偏激酿成轮番，其中焦距监控掩膜版结构包括：透光的基板，基板包括芯片区和多少监控区，基板具有基准名义；位于基板上的遮光结构，各监控区上具有至少一组监控绚丽组，各监控绚丽组包括多少位于相邻遮光结构之